【英文标准名称】:FilmNo135(35mm)formagazine;dimensions,edgemarking
【原文标准名称】:135(35mm)盒式胶卷.尺寸.边界
【标准号】:DIN4536-1977
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:G81
【国际标准分类号】:
【页数】:
【正文语种】:
基本信息
| 标准名称： | 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 |
| 英文名称： | Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术 >>
微电路 >>
微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学 >>
集成电路、微电子学
|
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2012-05-11 |
| 实施日期： | 2012-12-01 |
| 首发日期： | 2012-05-11 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 提出单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： | 中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 起草人： | 崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2012-12-01 |
| 页数： | 16页 |
适用范围
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
前言
没有内容
目录
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 工艺流程 2
4.1 体硅溶片工艺流程 2
4.2 硅片加工工艺流程 2
4.3 玻璃片加工工艺流程 3
4.4 硅-玻璃键合片工艺流程 4
5 工艺加工能力 4
6 工艺保障条件要求 4
6.1 人员要求 4
6.2 环境要求 4
6.3 设备要求 5
7 原材料要求 6
8 安全操作要求 6
8.1 用电安全 6
8.2 化学试剂 6
8.3 排废 6
9 工艺检验 6
9.1 总则 6
9.2 关键工序检验 7
9.3 最终检验 8
附录A (资料性附录) 体硅溶片关键工序检验方法 10
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB50073—2001 洁净厂房设计规范
GB/T19022—2003 测量管理体系 测量过程和测量设备的要求
GB/T26111—2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
所属分类： 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学
【英文标准名称】:Playgroundequipment-Part1:generalsafetyrequirementsandtestmethod.
【原文标准名称】:运动场器材.第1部分:一般安全要求和试验方法
【标准号】:NFS54-201-1/A1-2003
【标准状态】:作废
【国别】:法国
【发布日期】:2003-01-01
【实施或试行日期】:2003-01-20
【发布单位】:法国标准化协会(AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:规范(验收);检验;维修;荷载能力;木材;材料;设计;危险防护;安全要求;塑料;表面;儿童游乐场;危害;定义;使用说明;基础;设备安全;稳定性;体育与娱乐设备;数学计算;负荷;安全工程;尺寸;装置;金属;儿童;试验;布置;游乐场器材;游乐场;当心;作标记
【英文主题词】:Caution;Children;Children'splaygrounds;Climbingapparatus;Definition;Definitions;Design;Dimensions;Equipmentsafety;Foundations;Hazards;Inspection;Installations;Instructionsforuse;Layout;Leisureequipment;Loadcapacity;Loading;Maintenance;Marking;Materials;Mathematicalcalculations;Metals;Plastics;Playgroundequipment;Playgrounds;Protectionagainstdanger;Safetyengineering;Safetyrequirements;Specification(approval);Stability;Surfaces;Testing;Wood
【摘要】:
【中国标准分类号】:Y57
【国际标准分类号】:97_200_40
【页数】:6P;A4
【正文语种】:其他